手持式x射線(xiàn)熒光光譜儀原理：

　　X射線(xiàn)管通過(guò)產(chǎn)生入射X射線(xiàn)（一次X射線(xiàn)），來(lái)激發(fā)被測(cè)樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線(xiàn)（又叫X熒光），并且不同的元素所放射出的二次X射線(xiàn)具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來(lái)的二次X射線(xiàn)的能量及數(shù)量或者波長(zhǎng)。然后，儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類(lèi)及含量。元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長(zhǎng)的X射線(xiàn)，因此，只要測(cè)出熒光X射線(xiàn)的波長(zhǎng)或者能量,就可以知道元素的種類(lèi)，這就是熒光X射線(xiàn)定性分析的基礎(chǔ)。

　　

　　此外，熒光X射線(xiàn)的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系。據(jù)此，可以進(jìn)行元素定量分析。用X射線(xiàn)照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長(zhǎng)的熒光X射線(xiàn)，需要把混合的X射線(xiàn)按波長(zhǎng)（或能量）分開(kāi)，分別測(cè)量不同波長(zhǎng)（或能量）的X射線(xiàn)的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X熒光光譜儀。

　　

　　該儀器是一種基于XRF光譜分析技術(shù)的光譜分析儀器，當(dāng)能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線(xiàn)和原子發(fā)生碰撞的時(shí)候，驅(qū)逐出一個(gè)內(nèi)層的電子從而出現(xiàn)一個(gè)空穴，讓整個(gè)原子體系處于不穩(wěn)定狀態(tài)，當(dāng)較外層的電子躍遷到空穴時(shí)，產(chǎn)生一次光電子，擊出的光子可能再次被吸收從而逐出較外層的另一個(gè)次級(jí)光電子，發(fā)生俄歇效應(yīng)，稱(chēng)之次級(jí)光電效應(yīng)或無(wú)輻射效應(yīng)，而逐出的次級(jí)電子稱(chēng)為俄歇電子。